微電子無塵車間設(shè)計(jì)裝修如何防靜電
微電子無塵車間設(shè)計(jì)中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此微電子無塵車間裝修的防靜電能力如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動的,故稱靜電。深圳市金利凈化科技有限公司與大家分享在微電子無塵車間設(shè)計(jì)裝修內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面;
1.微電子無塵車間靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.微電子無塵車間靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊,失效率競達(dá)78%,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏;
3.微電子無塵車間靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
4.微電子無塵車間靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照相肢片等感光破壞;
5.微電子無塵車間靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
微電子無塵車間靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。靜電問題所以在微電子無塵車間裝修中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跓o塵車間中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闊o塵車間中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都容易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在無塵車間的靜電災(zāi)害未被重視之前。
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